纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2007年
2期
121-124
,共4页
李飞%罗先刚%朱少丽%杜春雷%邓启凌
李飛%囉先剛%硃少麗%杜春雷%鄧啟凌
리비%라선강%주소려%두춘뢰%산계릉
纳米金属列阵%纳米球自组装%局域表面等离子体
納米金屬列陣%納米毬自組裝%跼域錶麵等離子體
납미금속렬진%납미구자조장%국역표면등리자체
提出利用光刻定位自组装填充的方法制作纳米金属列阵.在平面基板上通过光刻手段制作具有列阵微区的定位模板,再利用单分散聚苯乙烯纳米球在微区里进行自组装,得到单层规则排布的纳米球结构;进一步沉积金属后,通过去牺牲层工艺去除球体,可得到呈六角形分布的纳米金属列阵结构;最后对获得的纳米金属列阵结构的形貌和光学性能进行分析,给出金属纳米列阵结构的电子显微镜照片和消光谱.
提齣利用光刻定位自組裝填充的方法製作納米金屬列陣.在平麵基闆上通過光刻手段製作具有列陣微區的定位模闆,再利用單分散聚苯乙烯納米毬在微區裏進行自組裝,得到單層規則排佈的納米毬結構;進一步沉積金屬後,通過去犧牲層工藝去除毬體,可得到呈六角形分佈的納米金屬列陣結構;最後對穫得的納米金屬列陣結構的形貌和光學性能進行分析,給齣金屬納米列陣結構的電子顯微鏡照片和消光譜.
제출이용광각정위자조장전충적방법제작납미금속렬진.재평면기판상통과광각수단제작구유렬진미구적정위모판,재이용단분산취분을희납미구재미구리진행자조장,득도단층규칙배포적납미구결구;진일보침적금속후,통과거희생층공예거제구체,가득도정륙각형분포적납미금속렬진결구;최후대획득적납미금속렬진결구적형모화광학성능진행분석,급출금속납미렬진결구적전자현미경조편화소광보.
