分析测试技术与仪器
分析測試技術與儀器
분석측시기술여의기
ANALYSIS AND TESTING TECHNOLOGY AND INSTRUMENTS
2008年
2期
120-124
,共5页
场发射扫描电镜%镀膜%纳米尺度形貌
場髮射掃描電鏡%鍍膜%納米呎度形貌
장발사소묘전경%도막%납미척도형모
通过观察场发射扫描电子显微镜下非导电样品镀膜前后纳米尺度的形貌变化,发现镀膜对样品在几个纳米范围内的形貌有一定的影响和遮盖,分析了使用场发射扫描电镜观察样品高倍数形貌时应注意的问题,并给出了获取真实形貌的方法.
通過觀察場髮射掃描電子顯微鏡下非導電樣品鍍膜前後納米呎度的形貌變化,髮現鍍膜對樣品在幾箇納米範圍內的形貌有一定的影響和遮蓋,分析瞭使用場髮射掃描電鏡觀察樣品高倍數形貌時應註意的問題,併給齣瞭穫取真實形貌的方法.
통과관찰장발사소묘전자현미경하비도전양품도막전후납미척도적형모변화,발현도막대양품재궤개납미범위내적형모유일정적영향화차개,분석료사용장발사소묘전경관찰양품고배수형모시응주의적문제,병급출료획취진실형모적방법.