MOCVD生长MgZnO薄膜及太阳盲紫外光电探测器
MOCVD생장MgZnO박막급태양맹자외광전탐측기
The Growth of MgZnO Thin Film by MOCVD and the Application in Solar Blind UV Detector
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2008年 5期 865-868 ,共4页

    鞠振刚%张吉英%蒋大勇%单崇新%姚斌%申德振%吕有明%范希武

    국진강%장길영%장대용%단숭신%요빈%신덕진%려유명%범희무

    MgZnO薄膜%太阳盲光电探测器%金属有机化学气相沉积 MgZnO薄膜%太暘盲光電探測器%金屬有機化學氣相沉積
    MgZnO박막%태양맹광전탐측기%금속유궤화학기상침적
    利用MOCVD在蓝宝石衬底上,通过低温生长实现了立方结构、吸收边在255 nm的Mg0.52Zn0.48O合金薄膜,并采用传统湿法刻蚀的方法在薄膜上制备了梳状叉指金电极,构成金属-半导体-金属(MSM)结构,实现了在10 V偏压下,器件的光响应峰值在250 nm,截止边为273 nm的MgZnO太阳盲光电探测器.
    이용MOCVD재람보석츤저상,통과저온생장실현료립방결구、흡수변재255 nm적Mg0.52Zn0.48O합금박막,병채용전통습법각식적방법재박막상제비료소상차지금전겁,구성금속-반도체-금속(MSM)결구,실현료재10 V편압하,기건적광향응봉치재250 nm,절지변위273 nm적MgZnO태양맹광전탐측기.
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