科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2009年
13期
3746-3748,3751
,共4页
朱宏喜%鱼敏英%刘玉亮%田保红%赵清坡
硃宏喜%魚敏英%劉玉亮%田保紅%趙清坡
주굉희%어민영%류옥량%전보홍%조청파
孪晶%金刚石薄膜%织构%取向
孿晶%金剛石薄膜%織構%取嚮
련정%금강석박막%직구%취향
采用X射线研究了CVD金刚石薄膜的织构,并采用扫描电镜观察了金刚石薄膜的表面组织形貌,探讨了孪晶对金刚石薄膜织构的影响.结果表明,高频率的孪晶会影响薄膜的织构,高频率孪晶导致没有形成{100}织构,而形成{122}织构.
採用X射線研究瞭CVD金剛石薄膜的織構,併採用掃描電鏡觀察瞭金剛石薄膜的錶麵組織形貌,探討瞭孿晶對金剛石薄膜織構的影響.結果錶明,高頻率的孿晶會影響薄膜的織構,高頻率孿晶導緻沒有形成{100}織構,而形成{122}織構.
채용X사선연구료CVD금강석박막적직구,병채용소묘전경관찰료금강석박막적표면조직형모,탐토료련정대금강석박막직구적영향.결과표명,고빈솔적련정회영향박막적직구,고빈솔련정도치몰유형성{100}직구,이형성{122}직구.
