传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
11期
47-50
,共4页
霍建琴%冯飞%王文荣%戈肖鸿%李铁%王跃林
霍建琴%馮飛%王文榮%戈肖鴻%李鐵%王躍林
곽건금%풍비%왕문영%과초홍%리철%왕약림
微米尺度%温差%测试结构
微米呎度%溫差%測試結構
미미척도%온차%측시결구
微米尺度热学性能测试需要在微米尺度内产生稳定的温度场并准确测量温差,对此设计并制作了一种微米尺度温差测试结构.当在测试结构的加热电极施加0.1,0.2,0.3,0.4,0.5V的电压时,测得实验室制作的硅纳米线两端温差分别为7,23,47,78,109K,与ANSYS仿真结果大致吻合；此外,利用该测试结构测得硅纳米线塞贝克系数为4.24×10-4V/K,与文献中硅材料一致.测试结果表明:该结构能够提供稳定的温度场并精确测量温差,满足微米尺度温差测试的基本要求.
微米呎度熱學性能測試需要在微米呎度內產生穩定的溫度場併準確測量溫差,對此設計併製作瞭一種微米呎度溫差測試結構.噹在測試結構的加熱電極施加0.1,0.2,0.3,0.4,0.5V的電壓時,測得實驗室製作的硅納米線兩耑溫差分彆為7,23,47,78,109K,與ANSYS倣真結果大緻吻閤；此外,利用該測試結構測得硅納米線塞貝剋繫數為4.24×10-4V/K,與文獻中硅材料一緻.測試結果錶明:該結構能夠提供穩定的溫度場併精確測量溫差,滿足微米呎度溫差測試的基本要求.
미미척도열학성능측시수요재미미척도내산생은정적온도장병준학측량온차,대차설계병제작료일충미미척도온차측시결구.당재측시결구적가열전겁시가0.1,0.2,0.3,0.4,0.5V적전압시,측득실험실제작적규납미선량단온차분별위7,23,47,78,109K,여ANSYS방진결과대치문합；차외,이용해측시결구측득규납미선새패극계수위4.24×10-4V/K,여문헌중규재료일치.측시결과표명:해결구능구제공은정적온도장병정학측량온차,만족미미척도온차측시적기본요구.
