电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2011年
9期
18-20,45
,共4页
真空%测量%泵%检漏
真空%測量%泵%檢漏
진공%측량%빙%검루
Vacuum%Measure%Pump%Leak detection
描述了真空设备在半导体行业中的运用,通过分析影响真空设备极限真空度的3个主要原因,讲述了真空设备检修方法及措施。
描述瞭真空設備在半導體行業中的運用,通過分析影響真空設備極限真空度的3箇主要原因,講述瞭真空設備檢脩方法及措施。
묘술료진공설비재반도체행업중적운용,통과분석영향진공설비겁한진공도적3개주요원인,강술료진공설비검수방법급조시。
Described application of vacuum equipments in the semiconductor industry.Through analyzing three mainly causes of affecting the limit of equipment vacuum,it expatiates on the method to service vacuum equipment.
