传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2011年
5期
675-678
,共4页
揣荣岩%孙瑞%刘晓为%王健
揣榮巖%孫瑞%劉曉為%王健
췌영암%손서%류효위%왕건
压力传感器%牺牲层技术%过载保护%非线性接触
壓力傳感器%犧牲層技術%過載保護%非線性接觸
압력전감기%희생층기술%과재보호%비선성접촉
采用微机电系统(MEMS)牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小,灵敏度高的优势,但同时也带来了提高过载能力的难题.为此,利用有限元法,对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析.通过这两种分析方法的结合,准确的模拟出过载状态下传感器的应力分布.在此基础上给出了压力传感器的一种结构设计方法,从而可使这种压力传感器过载保护能力提高180%～220%.
採用微機電繫統(MEMS)犧牲層技術製作的壓力傳感器具有芯片呎吋小,靈敏度高的優勢,但同時也帶來瞭提高過載能力的難題.為此,利用有限元法,對犧牲層結構壓阻式壓力傳感器彈性膜片的應力分佈進行瞭靜態線性分析和非線性接觸分析.通過這兩種分析方法的結閤,準確的模擬齣過載狀態下傳感器的應力分佈.在此基礎上給齣瞭壓力傳感器的一種結構設計方法,從而可使這種壓力傳感器過載保護能力提高180%～220%.
채용미궤전계통(MEMS)희생층기술제작적압력전감기구유심편척촌소,령민도고적우세,단동시야대래료제고과재능력적난제.위차,이용유한원법,대희생층결구압조식압력전감기탄성막편적응력분포진행료정태선성분석화비선성접촉분석.통과저량충분석방법적결합,준학적모의출과재상태하전감기적응력분포.재차기출상급출료압력전감기적일충결구설계방법,종이가사저충압력전감기과재보호능력제고180%～220%.
