世界科技研究与发展
世界科技研究與髮展
세계과기연구여발전
WORLD SCI-TECH R & D
2010年
4期
417-419,426
,共4页
黄香平%崔连武%肖金泉%闻火%闻立时
黃香平%崔連武%肖金泉%聞火%聞立時
황향평%최련무%초금천%문화%문립시
准分子激光%激光能量%结晶度
準分子激光%激光能量%結晶度
준분자격광%격광능량%결정도
利用ArF准分子激光对非晶硅薄膜的表层进行晶化后,采用拉曼光谱(Raman)、透射电镜(TEM)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)等实验方法研究不同激光能量密度下晶化层硅薄膜微结构变化.实验结果表明:随激光能量密度的增大,薄膜结晶度增大,晶化层厚度加厚;晶粒尺寸则是先增大,直到激光能量密度增大到210 mJ/cm2后,晶粒尺寸开始减小并且均匀性逐渐变差.最佳的激光能量密度范围为120～180 mJ/cm2,这时薄膜表面晶化层晶粒比较均匀致密,薄膜质量较好.
利用ArF準分子激光對非晶硅薄膜的錶層進行晶化後,採用拉曼光譜(Raman)、透射電鏡(TEM)、場髮射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)等實驗方法研究不同激光能量密度下晶化層硅薄膜微結構變化.實驗結果錶明:隨激光能量密度的增大,薄膜結晶度增大,晶化層厚度加厚;晶粒呎吋則是先增大,直到激光能量密度增大到210 mJ/cm2後,晶粒呎吋開始減小併且均勻性逐漸變差.最佳的激光能量密度範圍為120～180 mJ/cm2,這時薄膜錶麵晶化層晶粒比較均勻緻密,薄膜質量較好.
이용ArF준분자격광대비정규박막적표층진행정화후,채용랍만광보(Raman)、투사전경(TEM)、장발사소묘전자현미경(FE-SEM)등실험방법연구불동격광능량밀도하정화층규박막미결구변화.실험결과표명:수격광능량밀도적증대,박막결정도증대,정화층후도가후;정립척촌칙시선증대,직도격광능량밀도증대도210 mJ/cm2후,정립척촌개시감소병차균균성축점변차.최가적격광능량밀도범위위120～180 mJ/cm2,저시박막표면정화층정립비교균균치밀,박막질량교호.
