纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2009年
5期
423-427
,共5页
韩有君%赵湛%王晓蕾%杜利东%方震
韓有君%趙湛%王曉蕾%杜利東%方震
한유군%조담%왕효뢰%두리동%방진
风速传感器%悬板%微机械%电容
風速傳感器%懸闆%微機械%電容
풍속전감기%현판%미궤계%전용
研制了一种基于体微机械加工技术的悬板式风速传感器.传感器由可动极板和固定极板构成,通过测量传感器的输出电容变化量来检测风速.基于流体力学原理时传感器进行了理论分析.将制作的传感器封装在印刷电路板(PCB)上,并置于小型风洞内进行测试.测试结果说明所研制的传感器能够实现0～15.5 m/s范围内的风速测量,风速越大,传感器的灵敏度越高.传感器的输出电容变化量和风速之间具有二次函数关系,与风速平方之间具有线性关系,线性度为8.1%.
研製瞭一種基于體微機械加工技術的懸闆式風速傳感器.傳感器由可動極闆和固定極闆構成,通過測量傳感器的輸齣電容變化量來檢測風速.基于流體力學原理時傳感器進行瞭理論分析.將製作的傳感器封裝在印刷電路闆(PCB)上,併置于小型風洞內進行測試.測試結果說明所研製的傳感器能夠實現0～15.5 m/s範圍內的風速測量,風速越大,傳感器的靈敏度越高.傳感器的輸齣電容變化量和風速之間具有二次函數關繫,與風速平方之間具有線性關繫,線性度為8.1%.
연제료일충기우체미궤계가공기술적현판식풍속전감기.전감기유가동겁판화고정겁판구성,통과측량전감기적수출전용변화량래검측풍속.기우류체역학원리시전감기진행료이론분석.장제작적전감기봉장재인쇄전로판(PCB)상,병치우소형풍동내진행측시.측시결과설명소연제적전감기능구실현0～15.5 m/s범위내적풍속측량,풍속월대,전감기적령민도월고.전감기적수출전용변화량화풍속지간구유이차함수관계,여풍속평방지간구유선성관계,선성도위8.1%.
