中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
5期
1200-1204
,共5页
袁景梅%贺洪波%易葵%邵建达%范正修
袁景梅%賀洪波%易葵%邵建達%範正脩
원경매%하홍파%역규%소건체%범정수
薄膜%光学薄膜%紫外%退火
薄膜%光學薄膜%紫外%退火
박막%광학박막%자외%퇴화
采用直升式和阶梯式加热法对电子束热蒸发镀制出的HfO2/SiO2,Y2O3/SiO2多层膜进行了400℃的退火处理,发现采用阶梯式加热法退火后多层膜在190～300 nm范围内的峰值反射率均得到提高,说明此种后处理方法可能会改善膜层在紫外波段的光学性能.再对HfO2,Y2O3的单层膜进行相应的退火处理,发现退火后HfO2膜层的物理厚度减小从而发生监移现象;直升式退火使Y2O3膜层的折射率变小引起蓝移.阶梯式退火使得Y2O3膜层的物理厚度减小引起蓝移.对退火前后样品的微结构进行X射线衍射(XRD)法测量发现,退火可以使材料进行品化,并且采用直升式加热法后材料的结晶度更大,从而膜内散射变大,会引起膜层反射率的轻微降低.
採用直升式和階梯式加熱法對電子束熱蒸髮鍍製齣的HfO2/SiO2,Y2O3/SiO2多層膜進行瞭400℃的退火處理,髮現採用階梯式加熱法退火後多層膜在190～300 nm範圍內的峰值反射率均得到提高,說明此種後處理方法可能會改善膜層在紫外波段的光學性能.再對HfO2,Y2O3的單層膜進行相應的退火處理,髮現退火後HfO2膜層的物理厚度減小從而髮生鑑移現象;直升式退火使Y2O3膜層的摺射率變小引起藍移.階梯式退火使得Y2O3膜層的物理厚度減小引起藍移.對退火前後樣品的微結構進行X射線衍射(XRD)法測量髮現,退火可以使材料進行品化,併且採用直升式加熱法後材料的結晶度更大,從而膜內散射變大,會引起膜層反射率的輕微降低.
채용직승식화계제식가열법대전자속열증발도제출적HfO2/SiO2,Y2O3/SiO2다층막진행료400℃적퇴화처리,발현채용계제식가열법퇴화후다층막재190～300 nm범위내적봉치반사솔균득도제고,설명차충후처리방법가능회개선막층재자외파단적광학성능.재대HfO2,Y2O3적단층막진행상응적퇴화처리,발현퇴화후HfO2막층적물리후도감소종이발생감이현상;직승식퇴화사Y2O3막층적절사솔변소인기람이.계제식퇴화사득Y2O3막층적물리후도감소인기람이.대퇴화전후양품적미결구진행X사선연사(XRD)법측량발현,퇴화가이사재료진행품화,병차채용직승식가열법후재료적결정도경대,종이막내산사변대,회인기막층반사솔적경미강저.
