真空
真空
진공
VACUUM
2008年
6期
21-24
,共4页
徐均琪%刘衡平%李传志%樊慧庆
徐均琪%劉衡平%李傳誌%樊慧慶
서균기%류형평%리전지%번혜경
类金刚石薄膜%钛掺杂%非平衡磁控溅射%复合靶
類金剛石薄膜%鈦摻雜%非平衡磁控濺射%複閤靶
류금강석박막%태참잡%비평형자공천사%복합파
利用非平衡磁控溅射技术,以Ti-C复合靶为溅射靶材,在Si基底上制备了钛掺杂的类金刚石(Ti-DLC)薄膜,并对薄膜的表而形貌、电阻率、硬度、摩擦系数、附着力等性能进行了研究.借助微观结构测试结果,综合分析了薄膜在不同工艺参数下的宏观性能变化.实验表明:随着Ti掺杂含量从4at.%到35at.%,Ti-DLC膜电阻率下降了3个数量级;同时,薄膜的本征硬度从4771 kgf/mm2降低到3037 kgf/mm2,而Ti含量继续增加,硬度值反而会增加;XRD衍射图样表明薄膜的基质呈非晶特征,膜层中有TiC晶相生成;掺杂Ti元素能改善DIE薄膜的附着性能,Ti含量的增加有助于附着力的提升.
利用非平衡磁控濺射技術,以Ti-C複閤靶為濺射靶材,在Si基底上製備瞭鈦摻雜的類金剛石(Ti-DLC)薄膜,併對薄膜的錶而形貌、電阻率、硬度、摩抆繫數、附著力等性能進行瞭研究.藉助微觀結構測試結果,綜閤分析瞭薄膜在不同工藝參數下的宏觀性能變化.實驗錶明:隨著Ti摻雜含量從4at.%到35at.%,Ti-DLC膜電阻率下降瞭3箇數量級;同時,薄膜的本徵硬度從4771 kgf/mm2降低到3037 kgf/mm2,而Ti含量繼續增加,硬度值反而會增加;XRD衍射圖樣錶明薄膜的基質呈非晶特徵,膜層中有TiC晶相生成;摻雜Ti元素能改善DIE薄膜的附著性能,Ti含量的增加有助于附著力的提升.
이용비평형자공천사기술,이Ti-C복합파위천사파재,재Si기저상제비료태참잡적류금강석(Ti-DLC)박막,병대박막적표이형모、전조솔、경도、마찰계수、부착력등성능진행료연구.차조미관결구측시결과,종합분석료박막재불동공예삼수하적굉관성능변화.실험표명:수착Ti참잡함량종4at.%도35at.%,Ti-DLC막전조솔하강료3개수량급;동시,박막적본정경도종4771 kgf/mm2강저도3037 kgf/mm2,이Ti함량계속증가,경도치반이회증가;XRD연사도양표명박막적기질정비정특정,막층중유TiC정상생성;참잡Ti원소능개선DIE박막적부착성능,Ti함량적증가유조우부착력적제승.
