激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2008年
12期
64-67
,共4页
贺军峰%田润澜%田桢熔%白东峰
賀軍峰%田潤瀾%田楨鎔%白東峰
하군봉%전윤란%전정용%백동봉
高精度%椭球反射面%加工%检测
高精度%橢毬反射麵%加工%檢測
고정도%타구반사면%가공%검측
介绍了离轴椭球反射镜的加工与检测,并采用AutoCAD软件计算了反射镜的最大非球面度.加工后的离轴椭球反射镜倾斜度误差达1.55 arcsec,粗糙度均方根(RMS)达3.21 nm,焦距误差小于1 mm,表面精度可以达到λ/6(λ:0.51～0.98μm).
介紹瞭離軸橢毬反射鏡的加工與檢測,併採用AutoCAD軟件計算瞭反射鏡的最大非毬麵度.加工後的離軸橢毬反射鏡傾斜度誤差達1.55 arcsec,粗糙度均方根(RMS)達3.21 nm,焦距誤差小于1 mm,錶麵精度可以達到λ/6(λ:0.51～0.98μm).
개소료리축타구반사경적가공여검측,병채용AutoCAD연건계산료반사경적최대비구면도.가공후적리축타구반사경경사도오차체1.55 arcsec,조조도균방근(RMS)체3.21 nm,초거오차소우1 mm,표면정도가이체도λ/6(λ:0.51～0.98μm).
