中国科技论文在线
中國科技論文在線
중국과기논문재선
SCIENCEPAPER ONLINE
2008年
4期
246-249
,共4页
材料学%结构%等离子体基氧离子注入%Ti6A14V合金
材料學%結構%等離子體基氧離子註入%Ti6A14V閤金
재료학%결구%등리자체기양리자주입%Ti6A14V합금
采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6A14V合金进行表面处理.注入电压选取-30和-50kV.注入层的结构用X射线光电子能谱、小掠射角X射线衍射、Raman光谱进行表征.注入样品在注氧层中均形成了以TiO2为主的键结构,-30kV低电压注入样品的注氧层中TiO2为非晶态,经过500℃真空退火后,TiO2结晶形成金红石.而-50kv高注入电压则可在注氧层中直接形成粒径为nm的金红石.
採用等離子體基氧離子註入技術對Ti6A14V閤金進行錶麵處理.註入電壓選取-30和-50kV.註入層的結構用X射線光電子能譜、小掠射角X射線衍射、Raman光譜進行錶徵.註入樣品在註氧層中均形成瞭以TiO2為主的鍵結構,-30kV低電壓註入樣品的註氧層中TiO2為非晶態,經過500℃真空退火後,TiO2結晶形成金紅石.而-50kv高註入電壓則可在註氧層中直接形成粒徑為nm的金紅石.
채용등리자체기양리자주입기술대Ti6A14V합금진행표면처리.주입전압선취-30화-50kV.주입층적결구용X사선광전자능보、소략사각X사선연사、Raman광보진행표정.주입양품재주양층중균형성료이TiO2위주적건결구,-30kV저전압주입양품적주양층중TiO2위비정태,경과500℃진공퇴화후,TiO2결정형성금홍석.이-50kv고주입전압칙가재주양층중직접형성립경위nm적금홍석.
