国外电子测量技术
國外電子測量技術
국외전자측량기술
FOREIGN ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY
2008年
4期
23-26,41
,共5页
李童杰%董景新%刘云峰%孔星炜%赵长德
李童傑%董景新%劉雲峰%孔星煒%趙長德
리동걸%동경신%류운봉%공성위%조장덕
MEMS加速度计%敏感元件%虚拟仪器%频谱分析仪
MEMS加速度計%敏感元件%虛擬儀器%頻譜分析儀
MEMS가속도계%민감원건%허의의기%빈보분석의
基于敏感元件的特性本文设计出了一种MEMS加速度计敏感元件特性测试仪,即利用电容检测电路和基于虚拟仪器的频谱测试仪对MEMS敏感元件的频谱特性进行测试而得出其重要性能参数.电容检测电路和虚拟仪器频谱测试仪分别在实验室内进行了误差分析,电容检测电路的最大非线性误差为0.127 7%,频率特性测试仪的幅值最大误差为0.352 6 dB,相位最大误差为1.365 6°.
基于敏感元件的特性本文設計齣瞭一種MEMS加速度計敏感元件特性測試儀,即利用電容檢測電路和基于虛擬儀器的頻譜測試儀對MEMS敏感元件的頻譜特性進行測試而得齣其重要性能參數.電容檢測電路和虛擬儀器頻譜測試儀分彆在實驗室內進行瞭誤差分析,電容檢測電路的最大非線性誤差為0.127 7%,頻率特性測試儀的幅值最大誤差為0.352 6 dB,相位最大誤差為1.365 6°.
기우민감원건적특성본문설계출료일충MEMS가속도계민감원건특성측시의,즉이용전용검측전로화기우허의의기적빈보측시의대MEMS민감원건적빈보특성진행측시이득출기중요성능삼수.전용검측전로화허의의기빈보측시의분별재실험실내진행료오차분석,전용검측전로적최대비선성오차위0.127 7%,빈솔특성측시의적폭치최대오차위0.352 6 dB,상위최대오차위1.365 6°.
