低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2008年
1期
1-2
,共2页
超纯氯%吸附%低温精馏
超純氯%吸附%低溫精餾
초순록%흡부%저온정류
超纯氯是半导体、光纤生产的重要原材料.近年来我国的半导体、光纤工业已从研究向产业化发展,作为重要电子气体的超纯氯将发挥重要的作用.为确保产品质量稳定、降低成本,对该产品进行产业化生产十分必要.
超純氯是半導體、光纖生產的重要原材料.近年來我國的半導體、光纖工業已從研究嚮產業化髮展,作為重要電子氣體的超純氯將髮揮重要的作用.為確保產品質量穩定、降低成本,對該產品進行產業化生產十分必要.
초순록시반도체、광섬생산적중요원재료.근년래아국적반도체、광섬공업이종연구향산업화발전,작위중요전자기체적초순록장발휘중요적작용.위학보산품질량은정、강저성본,대해산품진행산업화생산십분필요.
