化学学报
化學學報
화학학보
ACTA CHIMICA SINICA
2008年
2期
165-169
,共5页
李嘉烨%吴金平%周成冈%姚淑娟%韩波
李嘉燁%吳金平%週成岡%姚淑娟%韓波
리가엽%오금평%주성강%요숙연%한파
原子层气相沉积%bis-amidinate%过渡态%密度泛函理论
原子層氣相沉積%bis-amidinate%過渡態%密度汎函理論
원자층기상침적%bis-amidinate%과도태%밀도범함이론
新型的二齿双氮基脒金属前驱体bis-amidinate在原子层气相沉积(ALD)中表现出了广阔的应用前景.前驱体适用性取决于其是否具备适当的稳定性,而bis-amidinate型前驱体的稳定性可由侧链取代基上β基团的迁移重排来表征.利用密度泛函理论方法研究了配体氮原子上不同取代基对bis-amidinate型Co前驱体稳定性的影响.结果表明,β-H的迁移较β-Me的迁移相对容易,而β基团在不同取代基前驱体中的迁移能力次序为:异丙基(β-H)>2-丁基(β-H)>叔丁基(β-CH3).
新型的二齒雙氮基脒金屬前驅體bis-amidinate在原子層氣相沉積(ALD)中錶現齣瞭廣闊的應用前景.前驅體適用性取決于其是否具備適噹的穩定性,而bis-amidinate型前驅體的穩定性可由側鏈取代基上β基糰的遷移重排來錶徵.利用密度汎函理論方法研究瞭配體氮原子上不同取代基對bis-amidinate型Co前驅體穩定性的影響.結果錶明,β-H的遷移較β-Me的遷移相對容易,而β基糰在不同取代基前驅體中的遷移能力次序為:異丙基(β-H)>2-丁基(β-H)>叔丁基(β-CH3).
신형적이치쌍담기미금속전구체bis-amidinate재원자층기상침적(ALD)중표현출료엄활적응용전경.전구체괄용성취결우기시부구비괄당적은정성,이bis-amidinate형전구체적은정성가유측련취대기상β기단적천이중배래표정.이용밀도범함이론방법연구료배체담원자상불동취대기대bis-amidinate형Co전구체은정성적영향.결과표명,β-H적천이교β-Me적천이상대용역,이β기단재불동취대기전구체중적천이능력차서위:이병기(β-H)>2-정기(β-H)>숙정기(β-CH3).
