光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2007年
7期
1263-1266
,共4页
袁广才%徐征%张福俊%王勇%赵德威%许洪华
袁廣纔%徐徵%張福俊%王勇%趙德威%許洪華
원엄재%서정%장복준%왕용%조덕위%허홍화
ZnO薄膜%结晶化%透射率%透明薄膜晶体管
ZnO薄膜%結晶化%透射率%透明薄膜晶體管
ZnO박막%결정화%투사솔%투명박막정체관
采用反应磁控溅射在不同结构衬底上生长ZnO薄膜,通过X-ray衍射(XRD)及透射光谱来分析薄膜的成膜情况,并得出在Al2O3/AlN复合基上溅射沉积的ZnO薄膜比单独在AlN薄膜衬底的结晶质量好且透过率也较高.而经不同的快速热退火温度验证,发现在400 ℃时,ZnO薄膜的结晶化及在(002)方向上的择优取向达到最好,并在可见光范围内的平均透过率达到88%以上.当退火温度超过450℃时,温度过高改变了ZnO薄膜的内部结构,使其氧原子和锌原子发生了较大距离的位移,导致薄膜内部缺陷的增多,从而存在过多的晶界,增加了其薄膜的散射机制,使光的透过性变差,退火温度为500℃时,薄膜的平均透过率为80%.
採用反應磁控濺射在不同結構襯底上生長ZnO薄膜,通過X-ray衍射(XRD)及透射光譜來分析薄膜的成膜情況,併得齣在Al2O3/AlN複閤基上濺射沉積的ZnO薄膜比單獨在AlN薄膜襯底的結晶質量好且透過率也較高.而經不同的快速熱退火溫度驗證,髮現在400 ℃時,ZnO薄膜的結晶化及在(002)方嚮上的擇優取嚮達到最好,併在可見光範圍內的平均透過率達到88%以上.噹退火溫度超過450℃時,溫度過高改變瞭ZnO薄膜的內部結構,使其氧原子和鋅原子髮生瞭較大距離的位移,導緻薄膜內部缺陷的增多,從而存在過多的晶界,增加瞭其薄膜的散射機製,使光的透過性變差,退火溫度為500℃時,薄膜的平均透過率為80%.
채용반응자공천사재불동결구츤저상생장ZnO박막,통과X-ray연사(XRD)급투사광보래분석박막적성막정황,병득출재Al2O3/AlN복합기상천사침적적ZnO박막비단독재AlN박막츤저적결정질량호차투과솔야교고.이경불동적쾌속열퇴화온도험증,발현재400 ℃시,ZnO박막적결정화급재(002)방향상적택우취향체도최호,병재가견광범위내적평균투과솔체도88%이상.당퇴화온도초과450℃시,온도과고개변료ZnO박막적내부결구,사기양원자화자원자발생료교대거리적위이,도치박막내부결함적증다,종이존재과다적정계,증가료기박막적산사궤제,사광적투과성변차,퇴화온도위500℃시,박막적평균투과솔위80%.
