北京理工大学学报
北京理工大學學報
북경리공대학학보
JOURNAL OF BEIJING INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2005年
z1期
259-262
,共4页
胡立琼%张跃飞%王瑜%陈强%葛袁静
鬍立瓊%張躍飛%王瑜%陳彊%葛袁靜
호립경%장약비%왕유%진강%갈원정
α-C:H(N)薄膜%等离子体化学气相沉积%摩擦磨损性能
α-C:H(N)薄膜%等離子體化學氣相沉積%摩抆磨損性能
α-C:H(N)박막%등리자체화학기상침적%마찰마손성능
采用平行板电容耦合射频辉光放电化学气相沉积(RF-PECVD)装置,在镀有TiN/Ti过渡层的碳钢表面制备类金刚石膜(DLC),以及直接在基材表面制备掺氮的类金刚石膜,研究成膜内应力减小机理.通过对成膜表面的傅里叶变换红外光谱(FTIR)、激光Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)的测试,分析成膜表面的组分和微观结构对薄膜的性能影响.以薄膜表面摩擦因数的大小,初步评估试样的耐磨程度,研究α-C:H及α-C:H(N)薄膜的摩擦学性能与其结构的关系.
採用平行闆電容耦閤射頻輝光放電化學氣相沉積(RF-PECVD)裝置,在鍍有TiN/Ti過渡層的碳鋼錶麵製備類金剛石膜(DLC),以及直接在基材錶麵製備摻氮的類金剛石膜,研究成膜內應力減小機理.通過對成膜錶麵的傅裏葉變換紅外光譜(FTIR)、激光Raman光譜、X射線光電子能譜(XPS)的測試,分析成膜錶麵的組分和微觀結構對薄膜的性能影響.以薄膜錶麵摩抆因數的大小,初步評估試樣的耐磨程度,研究α-C:H及α-C:H(N)薄膜的摩抆學性能與其結構的關繫.
채용평행판전용우합사빈휘광방전화학기상침적(RF-PECVD)장치,재도유TiN/Ti과도층적탄강표면제비류금강석막(DLC),이급직접재기재표면제비참담적류금강석막,연구성막내응력감소궤리.통과대성막표면적부리협변환홍외광보(FTIR)、격광Raman광보、X사선광전자능보(XPS)적측시,분석성막표면적조분화미관결구대박막적성능영향.이박막표면마찰인수적대소,초보평고시양적내마정도,연구α-C:H급α-C:H(N)박막적마찰학성능여기결구적관계.
