材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
2期
109-113
,共5页
微机电系统%形状记忆合金薄膜%力学性能
微機電繫統%形狀記憶閤金薄膜%力學性能
미궤전계통%형상기억합금박막%역학성능
总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及力学性能的研究进展,由此提出了MEMS领域中,SMA薄膜的使用要求和研究方向.
總結瞭近年來微機電繫統(MEMS)領域中,ti-Ni形狀記憶閤金(SMA)薄膜的製備與微加工工藝、形狀記憶性能、加工性能、防腐耐磨性能及力學性能的研究進展,由此提齣瞭MEMS領域中,SMA薄膜的使用要求和研究方嚮.
총결료근년래미궤전계통(MEMS)영역중,ti-Ni형상기억합금(SMA)박막적제비여미가공공예、형상기억성능、가공성능、방부내마성능급역학성능적연구진전,유차제출료MEMS영역중,SMA박막적사용요구화연구방향.
