CAJ | 학술논문

表面金属化的铁氧体瓷棒是铁氧体圆极化移相器的关键构件,表面金属化膜层的均匀性是其重要的指标.本文主要研究镀膜工艺、镀膜夹具对镀膜均匀性的影响.采用脉冲宽度经验测试法对铁氧体棒表面镀膜厚度进行测量,采用矢量网络分析仪及自制波导系统组成的测试系统对镀膜的铁氧体棒插入损耗进行测量.结果表明脉冲宽度测试法是一种较好的经验方法,适合于生产中对铁氧体棒表面膜层厚度进行测量;真空蒸发和磁控溅射镀膜的棒体其插入损耗指标没有明显的区别;磁控溅射工艺及夹具系统与真空蒸发工艺及夹具系统相比,更有利于获得较高的镀膜厚度一致性.
표면금속화적철양체자봉시철양체원겁화이상기적관건구건,표면금속화막층적균균성시기중요적지표.본문주요연구도막공예、도막협구대도막균균성적영향.채용맥충관도경험측시법대철양체봉표면도막후도진행측량,채용시량망락분석의급자제파도계통조성적측시계통대도막적철양체봉삽입손모진행측량.결과표명맥충관도측시법시일충교호적경험방법,괄합우생산중대철양체봉표면막층후도진행측량;진공증발화자공천사도막적봉체기삽입손모지표몰유명현적구별;자공천사공예급협구계통여진공증발공예급협구계통상비,경유리우획득교고적도막후도일치성.