西安工业学院学报
西安工業學院學報
서안공업학원학보
JOURNAL OF XI'AN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2006年
1期
21-24
,共4页
孙洹%S.Toyoaoka
孫洹%S.Toyoaoka
손원%S.Toyoaoka
色刻度尺%部分空间法%干涉色%干涉显微镜
色刻度呎%部分空間法%榦涉色%榦涉顯微鏡
색각도척%부분공간법%간섭색%간섭현미경
研究了定量测量物体外形的方法.在微分干涉显微镜载物台上放置平面镜和楔形微调器.通过微调101次,使得垂直入射的两束平行光反射后得到101次光程差.实验中使用白光光源,每获得一次光程差,依次插入31枚滤光片.经CCD摄象机便得到101个样本光谱分布,也就是假象的干涉色.利用部分空间法的数学原理,处理这101个样本光谱分布,建立部分空间上的色刻度尺.色刻度尺由部分空间上的101个色点组成.从试样表面反射的光带有表面形状的信息.未知光程差的干涉色点,投影到部分空间上,和色刻度尺比较便可确定光程差,可测量表面形状,测量精度为6.2 nm.
研究瞭定量測量物體外形的方法.在微分榦涉顯微鏡載物檯上放置平麵鏡和楔形微調器.通過微調101次,使得垂直入射的兩束平行光反射後得到101次光程差.實驗中使用白光光源,每穫得一次光程差,依次插入31枚濾光片.經CCD攝象機便得到101箇樣本光譜分佈,也就是假象的榦涉色.利用部分空間法的數學原理,處理這101箇樣本光譜分佈,建立部分空間上的色刻度呎.色刻度呎由部分空間上的101箇色點組成.從試樣錶麵反射的光帶有錶麵形狀的信息.未知光程差的榦涉色點,投影到部分空間上,和色刻度呎比較便可確定光程差,可測量錶麵形狀,測量精度為6.2 nm.
연구료정량측량물체외형적방법.재미분간섭현미경재물태상방치평면경화설형미조기.통과미조101차,사득수직입사적량속평행광반사후득도101차광정차.실험중사용백광광원,매획득일차광정차,의차삽입31매려광편.경CCD섭상궤편득도101개양본광보분포,야취시가상적간섭색.이용부분공간법적수학원리,처리저101개양본광보분포,건립부분공간상적색각도척.색각도척유부분공간상적101개색점조성.종시양표면반사적광대유표면형상적신식.미지광정차적간섭색점,투영도부분공간상,화색각도척비교편가학정광정차,가측량표면형상,측량정도위6.2 nm.
