新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2004年
12期
50-52
,共3页
武咏琴%李刘合%张彦华%胡亚伟%刘佑铭%蔡荀
武詠琴%李劉閤%張彥華%鬍亞偉%劉祐銘%蔡荀
무영금%리류합%장언화%호아위%류우명%채순
TiN薄膜%制备方法%力学性能%工艺参数
TiN薄膜%製備方法%力學性能%工藝參數
TiN박막%제비방법%역학성능%공예삼수
论述了TiN薄膜的常用制备方法,工艺参数对膜结构、性能等的影响,展望了TiN薄膜制备的进一步发展趋势.
論述瞭TiN薄膜的常用製備方法,工藝參數對膜結構、性能等的影響,展望瞭TiN薄膜製備的進一步髮展趨勢.
논술료TiN박막적상용제비방법,공예삼수대막결구、성능등적영향,전망료TiN박막제비적진일보발전추세.
