功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
1196-1198
,共3页
张锡健%马洪磊%王卿璞%马瑾%宗福建%肖洪地%计峰
張錫健%馬洪磊%王卿璞%馬瑾%宗福建%肖洪地%計峰
장석건%마홍뢰%왕경박%마근%종복건%초홍지%계봉
MgZn1-xO薄膜%AFM%XRD%退火
MgZn1-xO薄膜%AFM%XRD%退火
MgZn1-xO박막%AFM%XRD%퇴화
采用射频磁控溅射的方法在硅衬底上生长出高质量的Mg0.16Zn0.84O薄膜.用X射线(XRD)、原子力显微镜(AFM)分别研究了在200、400、600和800℃下空气中退火2h的Mg0.16Zn0 84O薄膜的结构、表面形貌.结果表明,Mg0.16Zn0.84O薄膜是六角纤锌矿结构,具有沿与衬底垂直的C轴的择优取向;随着样品退火温度的升高,(002)衍射峰强度明显增强,衍射峰半高宽(FWHM)由0.86°单调地降低到0.40°,晶粒大小明显增大,最大的高达400nm以上.用TV1900型双光束紫外可见分光光度计测量了淀积在蓝宝石衬底上的Mg0.16Zn0.84O薄膜室温的透射谱,得到可见光区的平均透过率约为95%,进而估算出Mg0.16Zn0.84O薄膜的带隙宽度约为3.58eV.
採用射頻磁控濺射的方法在硅襯底上生長齣高質量的Mg0.16Zn0.84O薄膜.用X射線(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)分彆研究瞭在200、400、600和800℃下空氣中退火2h的Mg0.16Zn0 84O薄膜的結構、錶麵形貌.結果錶明,Mg0.16Zn0.84O薄膜是六角纖鋅礦結構,具有沿與襯底垂直的C軸的擇優取嚮;隨著樣品退火溫度的升高,(002)衍射峰彊度明顯增彊,衍射峰半高寬(FWHM)由0.86°單調地降低到0.40°,晶粒大小明顯增大,最大的高達400nm以上.用TV1900型雙光束紫外可見分光光度計測量瞭澱積在藍寶石襯底上的Mg0.16Zn0.84O薄膜室溫的透射譜,得到可見光區的平均透過率約為95%,進而估算齣Mg0.16Zn0.84O薄膜的帶隙寬度約為3.58eV.
채용사빈자공천사적방법재규츤저상생장출고질량적Mg0.16Zn0.84O박막.용X사선(XRD)、원자력현미경(AFM)분별연구료재200、400、600화800℃하공기중퇴화2h적Mg0.16Zn0 84O박막적결구、표면형모.결과표명,Mg0.16Zn0.84O박막시륙각섬자광결구,구유연여츤저수직적C축적택우취향;수착양품퇴화온도적승고,(002)연사봉강도명현증강,연사봉반고관(FWHM)유0.86°단조지강저도0.40°,정립대소명현증대,최대적고체400nm이상.용TV1900형쌍광속자외가견분광광도계측량료정적재람보석츤저상적Mg0.16Zn0.84O박막실온적투사보,득도가견광구적평균투과솔약위95%,진이고산출Mg0.16Zn0.84O박막적대극관도약위3.58eV.
