CAJ | 학술논문

同位素纯硅片具有特殊的物理性质,在信息技术领域有着非常广阔的应用前景.为获得高丰度28Si, 利用国产的高速气体离心机,选择SiF4作为分离的工作介质,对硅同位素进行了离心分离实验.通过单机分离实验,调整气体离心机的有关参数,摸索出适合级联分离的单机参数,同时得到气体离心机分离硅同位素的单位质量数的全分离系数γ0. 利用由4台离心机组成的级联,经过6个阶段的分离,得到了28Si丰度达到99.5%的样品.实验结果表明,离心法分离硅同位素是完全可行的.
동위소순규편구유특수적물이성질,재신식기술영역유착비상엄활적응용전경.위획득고봉도28Si, 이용국산적고속기체리심궤,선택SiF4작위분리적공작개질,대규동위소진행료리심분리실험.통과단궤분리실험,조정기체리심궤적유관삼수,모색출괄합급련분리적단궤삼수,동시득도기체리심궤분리규동위소적단위질량수적전분리계수γ0. 이용유4태리심궤조성적급련,경과6개계단적분리,득도료28Si봉도체도99.5%적양품.실험결과표명,리심법분리규동위소시완전가행적.