光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2000年
6期
587-589
,共3页
田乃良%常明%杨保和%许德胜%郑启光
田迺良%常明%楊保和%許德勝%鄭啟光
전내량%상명%양보화%허덕성%정계광
碳纳米管%金刚石薄膜%化学沉积
碳納米管%金剛石薄膜%化學沉積
탄납미관%금강석박막%화학침적
碳纳米管的端头部位,具有一定的金刚石结构.用于金刚石薄膜气相化学沉积,作为籽晶,可使薄膜沉积的速度加快,结晶的定向性强,生长的温度低等优点.本文探讨了碳纳米管的结构,初步研究了其在金刚石薄膜气相化学沉积上的应用,得到了较好的＜100＞方向结晶的薄膜.
碳納米管的耑頭部位,具有一定的金剛石結構.用于金剛石薄膜氣相化學沉積,作為籽晶,可使薄膜沉積的速度加快,結晶的定嚮性彊,生長的溫度低等優點.本文探討瞭碳納米管的結構,初步研究瞭其在金剛石薄膜氣相化學沉積上的應用,得到瞭較好的＜100＞方嚮結晶的薄膜.
탄납미관적단두부위,구유일정적금강석결구.용우금강석박막기상화학침적,작위자정,가사박막침적적속도가쾌,결정적정향성강,생장적온도저등우점.본문탐토료탄납미관적결구,초보연구료기재금강석박막기상화학침적상적응용,득도료교호적＜100＞방향결정적박막.
