北京师范大学学报(自然科学版)
北京師範大學學報(自然科學版)
북경사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2000年
5期
623-625
,共3页
宋教花%张涛%侯君达%邓志威
宋教花%張濤%侯君達%鄧誌威
송교화%장도%후군체%산지위
氮化铌%金属等离子体%动态离子束增强沉积
氮化鈮%金屬等離子體%動態離子束增彊沉積
담화니%금속등리자체%동태리자속증강침적
利用无大颗粒的金属等离子体浸没增强沉积技术,在Si基体上进行动态离子束增强沉积NbN,在低温下制成了NbN薄膜.薄膜表面细密光滑,退火前其硬度＞16.8 MN@mm-2,退火后硬度＞16.0 MN@mm-2.
利用無大顆粒的金屬等離子體浸沒增彊沉積技術,在Si基體上進行動態離子束增彊沉積NbN,在低溫下製成瞭NbN薄膜.薄膜錶麵細密光滑,退火前其硬度＞16.8 MN@mm-2,退火後硬度＞16.0 MN@mm-2.
이용무대과립적금속등리자체침몰증강침적기술,재Si기체상진행동태리자속증강침적NbN,재저온하제성료NbN박막.박막표면세밀광활,퇴화전기경도＞16.8 MN@mm-2,퇴화후경도＞16.0 MN@mm-2.
