材料科学与工程
材料科學與工程
재료과학여공정
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2000年
z2期
582-586
,共5页
刘锋%莫建良%张溪文%韩高荣
劉鋒%莫建良%張溪文%韓高榮
류봉%막건량%장계문%한고영
硅/碳化硅复合镀膜玻璃%退火处理%光学性能%光污染
硅/碳化硅複閤鍍膜玻璃%退火處理%光學性能%光汙染
규/탄화규복합도막파리%퇴화처리%광학성능%광오염
我们以硅烷(SiH4)和乙烯(C2H4)为原料,采用常压热分解APCVD法制备出了Si/SiC复合镀膜玻璃,并对其进行了退火处理.本文利用多种测试技术对退火后硅镀膜玻璃的光学性能以及其组成结构、化学稳定性等方面作了系统研究,发现退火处理能在保持镀膜玻璃其它重要性能变化不大的基础之上较好地改善硅镀膜玻璃的光学性能、降低玻璃的反射率、有效地防止目前日趋严重地光污染问题,为改善SSi/SiC复合镀膜玻璃的性能、扩大其应用领域作了有益的探索.
我們以硅烷(SiH4)和乙烯(C2H4)為原料,採用常壓熱分解APCVD法製備齣瞭Si/SiC複閤鍍膜玻璃,併對其進行瞭退火處理.本文利用多種測試技術對退火後硅鍍膜玻璃的光學性能以及其組成結構、化學穩定性等方麵作瞭繫統研究,髮現退火處理能在保持鍍膜玻璃其它重要性能變化不大的基礎之上較好地改善硅鍍膜玻璃的光學性能、降低玻璃的反射率、有效地防止目前日趨嚴重地光汙染問題,為改善SSi/SiC複閤鍍膜玻璃的性能、擴大其應用領域作瞭有益的探索.
아문이규완(SiH4)화을희(C2H4)위원료,채용상압열분해APCVD법제비출료Si/SiC복합도막파리,병대기진행료퇴화처리.본문이용다충측시기술대퇴화후규도막파리적광학성능이급기조성결구、화학은정성등방면작료계통연구,발현퇴화처리능재보지도막파리기타중요성능변화불대적기출지상교호지개선규도막파리적광학성능、강저파리적반사솔、유효지방지목전일추엄중지광오염문제,위개선SSi/SiC복합도막파리적성능、확대기응용영역작료유익적탐색.
