低温物理学报
低溫物理學報
저온물이학보
CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
1999年
1期
35-38
,共4页
石东奇%杨坚%常世安%袁冠森%王素玉%王家素%雷延权
石東奇%楊堅%常世安%袁冠森%王素玉%王傢素%雷延權
석동기%양견%상세안%원관삼%왕소옥%왕가소%뢰연권
本文用平面靶射频磁控溅射在具有双轴织构的Ni片上外延生长CeO2和YSZ薄膜作为阻挡层,X-射线衍射扫描分析表明CeO2和YSZ薄膜具有强的c轴织构和较好的平面内双轴织构.用中空柱状靶直流磁控溅射在阻挡层上制备YBCO超导薄膜.在2cm波带测量了YBCO的表面电阻和谐振腔有载QL值.
本文用平麵靶射頻磁控濺射在具有雙軸織構的Ni片上外延生長CeO2和YSZ薄膜作為阻擋層,X-射線衍射掃描分析錶明CeO2和YSZ薄膜具有彊的c軸織構和較好的平麵內雙軸織構.用中空柱狀靶直流磁控濺射在阻擋層上製備YBCO超導薄膜.在2cm波帶測量瞭YBCO的錶麵電阻和諧振腔有載QL值.
본문용평면파사빈자공천사재구유쌍축직구적Ni편상외연생장CeO2화YSZ박막작위조당층,X-사선연사소묘분석표명CeO2화YSZ박막구유강적c축직구화교호적평면내쌍축직구.용중공주상파직류자공천사재조당층상제비YBCO초도박막.재2cm파대측량료YBCO적표면전조화해진강유재QL치.
