半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2002年
12期
1295-1297
,共3页
苏哲%董占民%韩立%陈浩明
囌哲%董佔民%韓立%陳浩明
소철%동점민%한립%진호명
外延片%光致发光%无损检测
外延片%光緻髮光%無損檢測
외연편%광치발광%무손검측
介绍了一种利用新型发光二极管外延片光致发光光谱在线检测仪对GaP发光二极管外延片进行在线无损检测和质量控制的方法.通过对检测结果的统计分析,得出了对生产工艺的改进意见.最终实现了提高GaP外延片质量的目的.
介紹瞭一種利用新型髮光二極管外延片光緻髮光光譜在線檢測儀對GaP髮光二極管外延片進行在線無損檢測和質量控製的方法.通過對檢測結果的統計分析,得齣瞭對生產工藝的改進意見.最終實現瞭提高GaP外延片質量的目的.
개소료일충이용신형발광이겁관외연편광치발광광보재선검측의대GaP발광이겁관외연편진행재선무손검측화질량공제적방법.통과대검측결과적통계분석,득출료대생산공예적개진의견.최종실현료제고GaP외연편질량적목적.
