真空
真空
진공
VACUUM
2002年
5期
57-59
,共3页
非平衡磁控溅射%薄膜%等离子体
非平衡磁控濺射%薄膜%等離子體
비평형자공천사%박막%등리자체
对靶非平衡磁控溅射系统由两个相对磁控溅射靶和一个磁镜场约束系统构成,通过调整电磁线圈的激励电流可以控制磁镜场的空间分布状态,测量了合成磁场的空间分布状态.采用平面探针方法,在两靶中间位置测量了收集电流密度.结果表明,探针的收集电流密度随磁镜场的激励电流增加显著增大,在偏压150 V、工作气体Ar、压力0.2 Pa和磁控溅射靶工作电流3 A时,收集的电流密度可以达到5.77 mA/cm2.
對靶非平衡磁控濺射繫統由兩箇相對磁控濺射靶和一箇磁鏡場約束繫統構成,通過調整電磁線圈的激勵電流可以控製磁鏡場的空間分佈狀態,測量瞭閤成磁場的空間分佈狀態.採用平麵探針方法,在兩靶中間位置測量瞭收集電流密度.結果錶明,探針的收集電流密度隨磁鏡場的激勵電流增加顯著增大,在偏壓150 V、工作氣體Ar、壓力0.2 Pa和磁控濺射靶工作電流3 A時,收集的電流密度可以達到5.77 mA/cm2.
대파비평형자공천사계통유량개상대자공천사파화일개자경장약속계통구성,통과조정전자선권적격려전류가이공제자경장적공간분포상태,측량료합성자장적공간분포상태.채용평면탐침방법,재량파중간위치측량료수집전류밀도.결과표명,탐침적수집전류밀도수자경장적격려전류증가현저증대,재편압150 V、공작기체Ar、압력0.2 Pa화자공천사파공작전류3 A시,수집적전류밀도가이체도5.77 mA/cm2.
