核聚变与等离子体物理
覈聚變與等離子體物理
핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2002年
4期
232-236
,共5页
曹曾%徐云仙%付卫东%崔成和%刘德权%周才品%严建成
曹曾%徐雲仙%付衛東%崔成和%劉德權%週纔品%嚴建成
조증%서운선%부위동%최성화%류덕권%주재품%엄건성
抽气系统%检漏%漏气率
抽氣繫統%檢漏%漏氣率
추기계통%검루%루기솔
4套前级汇总式分子泵三级抽气机组由包括4套3500L@s-1分子泵、2套600L@s-1罗茨增压泵和2套70L@s-1机械泵组成,对环有效抽速为6.4m3@s-1(H2).用氦质谱检漏仪、四级场质谱计与氦质谱检漏仪相结合的方法分别进行了零部件和真空室总体检漏,真空室总漏气率≤1.2×10-5Pa@m3@s-1.采用有效除气措施后,HL-2A真空室预装本底压强为1.1×10-4Pa.
4套前級彙總式分子泵三級抽氣機組由包括4套3500L@s-1分子泵、2套600L@s-1囉茨增壓泵和2套70L@s-1機械泵組成,對環有效抽速為6.4m3@s-1(H2).用氦質譜檢漏儀、四級場質譜計與氦質譜檢漏儀相結閤的方法分彆進行瞭零部件和真空室總體檢漏,真空室總漏氣率≤1.2×10-5Pa@m3@s-1.採用有效除氣措施後,HL-2A真空室預裝本底壓彊為1.1×10-4Pa.
4투전급회총식분자빙삼급추기궤조유포괄4투3500L@s-1분자빙、2투600L@s-1라자증압빙화2투70L@s-1궤계빙조성,대배유효추속위6.4m3@s-1(H2).용양질보검루의、사급장질보계여양질보검루의상결합적방법분별진행료령부건화진공실총체검루,진공실총루기솔≤1.2×10-5Pa@m3@s-1.채용유효제기조시후,HL-2A진공실예장본저압강위1.1×10-4Pa.
