真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
4期
255-259
,共5页
校正透镜%落点位移%光斑图像
校正透鏡%落點位移%光斑圖像
교정투경%낙점위이%광반도상
检验曝光台校正透镜的修正效果,通常是通过在生产线上实际制管来进行.这种方法费时费力,并且存在各制作工序误差的积累.本文研制了一种装置,通过检测透镜修正前后光落点在荧光屏内表面的落点位移,直接检测修正效果,并且测量精度能达到3～5 μm.
檢驗曝光檯校正透鏡的脩正效果,通常是通過在生產線上實際製管來進行.這種方法費時費力,併且存在各製作工序誤差的積纍.本文研製瞭一種裝置,通過檢測透鏡脩正前後光落點在熒光屏內錶麵的落點位移,直接檢測脩正效果,併且測量精度能達到3～5 μm.
검험폭광태교정투경적수정효과,통상시통과재생산선상실제제관래진행.저충방법비시비력,병차존재각제작공서오차적적루.본문연제료일충장치,통과검측투경수정전후광낙점재형광병내표면적낙점위이,직접검측수정효과,병차측량정도능체도3～5 μm.
