厦门大学学报(自然科学版)
廈門大學學報(自然科學版)
하문대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY
2002年
3期
306-310
,共5页
徐富春%王水菊%林秀华%倪子绵%薛茹%汤丁亮%刘新
徐富春%王水菊%林秀華%倪子綿%薛茹%湯丁亮%劉新
서부춘%왕수국%림수화%예자면%설여%탕정량%류신
多弧离子镀%TiN%Cr/Cu%表面%接触界面
多弧離子鍍%TiN%Cr/Cu%錶麵%接觸界麵
다호리자도%TiN%Cr/Cu%표면%접촉계면
使用多弧离子镀在铜基镀Cr的衬底上制备TiN薄膜,借助表面分析技术研究了不同温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触的界面与表面性质.通过SEM、TEM观测表面形貌,微结构随温度变化;用AES和XPS测量接触界面成分随温度的变化.结果表明,在90 ℃下,表面TiN薄膜欠均匀,界面较清晰可辨;随着温度的升高,表面微结晶性能有所改善,在170 ℃时可见局部球聚隆起,出现粗细不同的类枝状结晶结构,此时TiN与Cr/Cu界面层增厚,形成较为稳定的Ti-Cr金属间化合物.TiN薄膜在金属衬底上的生长行为与衬底表面的原子结构、晶向,以及TiN与金属间的电荷转移和键合状况有关,适当的衬底温度(120 ℃)可以改变TiN形貌,改善其机械性能.
使用多弧離子鍍在銅基鍍Cr的襯底上製備TiN薄膜,藉助錶麵分析技術研究瞭不同溫度下離子鍍TiN與Cr/Cu接觸的界麵與錶麵性質.通過SEM、TEM觀測錶麵形貌,微結構隨溫度變化;用AES和XPS測量接觸界麵成分隨溫度的變化.結果錶明,在90 ℃下,錶麵TiN薄膜欠均勻,界麵較清晰可辨;隨著溫度的升高,錶麵微結晶性能有所改善,在170 ℃時可見跼部毬聚隆起,齣現粗細不同的類枝狀結晶結構,此時TiN與Cr/Cu界麵層增厚,形成較為穩定的Ti-Cr金屬間化閤物.TiN薄膜在金屬襯底上的生長行為與襯底錶麵的原子結構、晶嚮,以及TiN與金屬間的電荷轉移和鍵閤狀況有關,適噹的襯底溫度(120 ℃)可以改變TiN形貌,改善其機械性能.
사용다호리자도재동기도Cr적츤저상제비TiN박막,차조표면분석기술연구료불동온도하리자도TiN여Cr/Cu접촉적계면여표면성질.통과SEM、TEM관측표면형모,미결구수온도변화;용AES화XPS측량접촉계면성분수온도적변화.결과표명,재90 ℃하,표면TiN박막흠균균,계면교청석가변;수착온도적승고,표면미결정성능유소개선,재170 ℃시가견국부구취륭기,출현조세불동적류지상결정결구,차시TiN여Cr/Cu계면층증후,형성교위은정적Ti-Cr금속간화합물.TiN박막재금속츤저상적생장행위여츤저표면적원자결구、정향,이급TiN여금속간적전하전이화건합상황유관,괄당적츤저온도(120 ℃)가이개변TiN형모,개선기궤계성능.
