北京工业大学学报
北京工業大學學報
북경공업대학학보
JOURNAL OF BEIJING POLYTECHNIC UNIVERSITY
2002年
2期
249-252
,共4页
薄膜生长%Monte Carlo方法%多重线性分布%二分角关系
薄膜生長%Monte Carlo方法%多重線性分佈%二分角關繫
박막생장%Monte Carlo방법%다중선성분포%이분각관계
利用Monte Carlo方法模拟了薄膜的二维和三维生长,引入Morse作用势描述了粒子间的相互作用,并根据势中的作用范围α详细考虑了近邻粒子的影响. 研究发现,在二维生长中各粒子团生长过程曲线存在多重线性分布,且在某一阶段各分布直线满足二分角关系. 三维模拟结果表明,随着沉积粒子数的增加,成团粒子数所占百分比下降,这与二维结果相符.
利用Monte Carlo方法模擬瞭薄膜的二維和三維生長,引入Morse作用勢描述瞭粒子間的相互作用,併根據勢中的作用範圍α詳細攷慮瞭近鄰粒子的影響. 研究髮現,在二維生長中各粒子糰生長過程麯線存在多重線性分佈,且在某一階段各分佈直線滿足二分角關繫. 三維模擬結果錶明,隨著沉積粒子數的增加,成糰粒子數所佔百分比下降,這與二維結果相符.
이용Monte Carlo방법모의료박막적이유화삼유생장,인입Morse작용세묘술료입자간적상호작용,병근거세중적작용범위α상세고필료근린입자적영향. 연구발현,재이유생장중각입자단생장과정곡선존재다중선성분포,차재모일계단각분포직선만족이분각관계. 삼유모의결과표명,수착침적입자수적증가,성단입자수소점백분비하강,저여이유결과상부.
