南京理工大学学报(自然科学版)
南京理工大學學報(自然科學版)
남경리공대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY（NATURE SCIENCE）
2004年
1期
42-47
,共6页
吴秋平%高钟毓%王永梁%贺晓霞
吳鞦平%高鐘毓%王永樑%賀曉霞
오추평%고종육%왕영량%하효하
静电平衡%微位移%电容电桥%间隙电容
靜電平衡%微位移%電容電橋%間隙電容
정전평형%미위이%전용전교%간극전용
为了实现高精度球形转子的平衡测量,讨论半球电极支承下静电悬浮装置的变间隙电容的计算公式和纳米级电容精密测量问题.基于半球支承下的转子位移测量原理,分析转子与电极间电容和间隙的关系,给出高精度转子位移测量方案.测试结果表明,电路性能与理论分析结果吻合较好,转子位移测量电路的位移分辨率优于0.2nm、5h零位漂移小于0.01μm、通频带大于20kHz,可以满足高精度球形转子平衡测量的要求.
為瞭實現高精度毬形轉子的平衡測量,討論半毬電極支承下靜電懸浮裝置的變間隙電容的計算公式和納米級電容精密測量問題.基于半毬支承下的轉子位移測量原理,分析轉子與電極間電容和間隙的關繫,給齣高精度轉子位移測量方案.測試結果錶明,電路性能與理論分析結果吻閤較好,轉子位移測量電路的位移分辨率優于0.2nm、5h零位漂移小于0.01μm、通頻帶大于20kHz,可以滿足高精度毬形轉子平衡測量的要求.
위료실현고정도구형전자적평형측량,토론반구전겁지승하정전현부장치적변간극전용적계산공식화납미급전용정밀측량문제.기우반구지승하적전자위이측량원리,분석전자여전겁간전용화간극적관계,급출고정도전자위이측량방안.측시결과표명,전로성능여이론분석결과문합교호,전자위이측량전로적위이분변솔우우0.2nm、5h령위표이소우0.01μm、통빈대대우20kHz,가이만족고정도구형전자평형측량적요구.
