真空
真空
진공
VACUUM
2004年
5期
32-34
,共3页
王旭迪%张永胜%胡焕林%汪力
王旭迪%張永勝%鬍煥林%汪力
왕욱적%장영성%호환림%왕력
微结构%深高宽比%干法刻蚀
微結構%深高寬比%榦法刻蝕
미결구%심고관비%간법각식
介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段.
介紹瞭深高寬比微結構在榦法刻蝕過程中遇到的刻蝕滯後、刻蝕中止、側壁彎麯和開槽效應等與傳統器件刻蝕不同的現象,討論瞭製作高深寬比結構所需的關鍵技術和檢測手段.
개소료심고관비미결구재간법각식과정중우도적각식체후、각식중지、측벽만곡화개조효응등여전통기건각식불동적현상,토론료제작고심관비결구소수적관건기술화검측수단.
