太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2005年
2期
200-206
,共7页
胡芸菲%沈辉%梁宗存%刘正义
鬍蕓菲%瀋輝%樑宗存%劉正義
호예비%침휘%량종존%류정의
多晶硅薄膜%颗粒硅带%化学气相沉积%区熔再结晶
多晶硅薄膜%顆粒硅帶%化學氣相沉積%區鎔再結晶
다정규박막%과립규대%화학기상침적%구용재결정
从薄膜的沉积方式和沉积温度以及衬底材料等几方面综合分析了多晶硅薄膜制备工艺的特点及多晶硅薄膜太阳电池的最新研究进展.并以颗粒硅带(SSP)为衬底,采用快热化学气相沉积(RTCVD)法制备了多晶硅薄膜,随后制得的多晶硅薄膜太阳电池的效率达到6.05%.
從薄膜的沉積方式和沉積溫度以及襯底材料等幾方麵綜閤分析瞭多晶硅薄膜製備工藝的特點及多晶硅薄膜太暘電池的最新研究進展.併以顆粒硅帶(SSP)為襯底,採用快熱化學氣相沉積(RTCVD)法製備瞭多晶硅薄膜,隨後製得的多晶硅薄膜太暘電池的效率達到6.05%.
종박막적침적방식화침적온도이급츤저재료등궤방면종합분석료다정규박막제비공예적특점급다정규박막태양전지적최신연구진전.병이과립규대(SSP)위츤저,채용쾌열화학기상침적(RTCVD)법제비료다정규박막,수후제득적다정규박막태양전지적효솔체도6.05%.
