现代仪器
現代儀器
현대의기
MODERN INSTRUMENTS
2005年
6期
5-10
,共6页
磁控管%溅射率%非平衡磁控溅射%闭合场非平衡磁控溅射%自溅射
磁控管%濺射率%非平衡磁控濺射%閉閤場非平衡磁控濺射%自濺射
자공관%천사솔%비평형자공천사%폐합장비평형자공천사%자천사
近年来磁控溅射技术的应用日趋广泛,在工业生产和科学研究领域发挥巨大作用.随着对具有各种新型功能的薄膜需求的增加,相应的磁控溅射技术也获得进一步的发展.本文将介绍磁控溅射技术的发展,以及闭合磁场非平衡溅射、高速率溅射及自溅射、中频及脉冲溅射等各种新技术及特点,阐述磁控溅射技术在电子、光学、表面功能薄膜、薄膜发光材料等许多方面的应用.
近年來磁控濺射技術的應用日趨廣汎,在工業生產和科學研究領域髮揮巨大作用.隨著對具有各種新型功能的薄膜需求的增加,相應的磁控濺射技術也穫得進一步的髮展.本文將介紹磁控濺射技術的髮展,以及閉閤磁場非平衡濺射、高速率濺射及自濺射、中頻及脈遲濺射等各種新技術及特點,闡述磁控濺射技術在電子、光學、錶麵功能薄膜、薄膜髮光材料等許多方麵的應用.
근년래자공천사기술적응용일추엄범,재공업생산화과학연구영역발휘거대작용.수착대구유각충신형공능적박막수구적증가,상응적자공천사기술야획득진일보적발전.본문장개소자공천사기술적발전,이급폐합자장비평형천사、고속솔천사급자천사、중빈급맥충천사등각충신기술급특점,천술자공천사기술재전자、광학、표면공능박막、박막발광재료등허다방면적응용.
