光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2005年
4期
525-532
,共8页
应用光学%非球面制造%主动抛光盘%抛光盘变形分析%抛光盘升降与倾斜分析
應用光學%非毬麵製造%主動拋光盤%拋光盤變形分析%拋光盤升降與傾斜分析
응용광학%비구면제조%주동포광반%포광반변형분석%포광반승강여경사분석
用主动抛光盘磨制非球面是一个动态的过程,必须保证在计算机控制下,主轴的移动、旋转,和抛光盘的旋转、倾斜、变形及升降,以及主镜的旋转都步调一致.推导出在模式中诸要点的位置、速度、加速度和时间的关系,并根据所加工的口径φ910 mm,焦比为F/2的抛物面主镜参量和所用主动抛光盘的参量分析:1)主动抛光盘基板的变形特性,即它的变形量、变形的速度和加速度,以及近似公式与精确公式之间的差异;2)主动抛光盘背面的三个提升点运动规律,即它的升降量、升降的速度和加速度;3)主动抛光盘的变形量和它在差分变压器式线性微位移传感器(LVDT)测试架上所测得的测量量之间的关系;4)分析主动抛光盘的变形与提升的速度与加速度和抛光盘沿横梁的运动速度V1以及抛光盘自身的转速V2之间的关系和特性.此分析是主动抛光盘的数学基础,它为主动抛光盘的机械和电控设计提供了技术依据,为实现计算机控制下的6轴联动提供了保证.
用主動拋光盤磨製非毬麵是一箇動態的過程,必鬚保證在計算機控製下,主軸的移動、鏇轉,和拋光盤的鏇轉、傾斜、變形及升降,以及主鏡的鏇轉都步調一緻.推導齣在模式中諸要點的位置、速度、加速度和時間的關繫,併根據所加工的口徑φ910 mm,焦比為F/2的拋物麵主鏡參量和所用主動拋光盤的參量分析:1)主動拋光盤基闆的變形特性,即它的變形量、變形的速度和加速度,以及近似公式與精確公式之間的差異;2)主動拋光盤揹麵的三箇提升點運動規律,即它的升降量、升降的速度和加速度;3)主動拋光盤的變形量和它在差分變壓器式線性微位移傳感器(LVDT)測試架上所測得的測量量之間的關繫;4)分析主動拋光盤的變形與提升的速度與加速度和拋光盤沿橫樑的運動速度V1以及拋光盤自身的轉速V2之間的關繫和特性.此分析是主動拋光盤的數學基礎,它為主動拋光盤的機械和電控設計提供瞭技術依據,為實現計算機控製下的6軸聯動提供瞭保證.
용주동포광반마제비구면시일개동태적과정,필수보증재계산궤공제하,주축적이동、선전,화포광반적선전、경사、변형급승강,이급주경적선전도보조일치.추도출재모식중제요점적위치、속도、가속도화시간적관계,병근거소가공적구경φ910 mm,초비위F/2적포물면주경삼량화소용주동포광반적삼량분석:1)주동포광반기판적변형특성,즉타적변형량、변형적속도화가속도,이급근사공식여정학공식지간적차이;2)주동포광반배면적삼개제승점운동규률,즉타적승강량、승강적속도화가속도;3)주동포광반적변형량화타재차분변압기식선성미위이전감기(LVDT)측시가상소측득적측량량지간적관계;4)분석주동포광반적변형여제승적속도여가속도화포광반연횡량적운동속도V1이급포광반자신적전속V2지간적관계화특성.차분석시주동포광반적수학기출,타위주동포광반적궤계화전공설계제공료기술의거,위실현계산궤공제하적6축련동제공료보증.
