低温物理学报
低溫物理學報
저온물이학보
CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
2005年
z1期
711-716
,共6页
吉争鸣%吴培亨%许伟伟%孙国柱%郭大元
吉爭鳴%吳培亨%許偉偉%孫國柱%郭大元
길쟁명%오배형%허위위%손국주%곽대원
高温超导薄膜%表面电阻%测量误差
高溫超導薄膜%錶麵電阻%測量誤差
고온초도박막%표면전조%측량오차
由于超导薄膜的表面阻抗Rs这一参量对超导微波元件的设计和开发有很重要意义,测量超导薄膜的表面阻抗Rs也就非常重要.目前国际上制定了高温超导薄膜在微波波段上表面阻抗Rs电特性的标准测量方案:IEC/TC90.此方案采用介质杆谐振器法测量表面阻抗的原理,使用蓝宝石介质杆和超导膜组成的谐振器法测量超导膜的Rs.本文分析了各个测量量对标准测量方案的测量精度,分析了在12GHz微波频率下,系统的各个实际部件的加工误差.认为频谱曲线的测量误差,即背景误差对最终测量结果Rs的影响是主要的.
由于超導薄膜的錶麵阻抗Rs這一參量對超導微波元件的設計和開髮有很重要意義,測量超導薄膜的錶麵阻抗Rs也就非常重要.目前國際上製定瞭高溫超導薄膜在微波波段上錶麵阻抗Rs電特性的標準測量方案:IEC/TC90.此方案採用介質桿諧振器法測量錶麵阻抗的原理,使用藍寶石介質桿和超導膜組成的諧振器法測量超導膜的Rs.本文分析瞭各箇測量量對標準測量方案的測量精度,分析瞭在12GHz微波頻率下,繫統的各箇實際部件的加工誤差.認為頻譜麯線的測量誤差,即揹景誤差對最終測量結果Rs的影響是主要的.
유우초도박막적표면조항Rs저일삼량대초도미파원건적설계화개발유흔중요의의,측량초도박막적표면조항Rs야취비상중요.목전국제상제정료고온초도박막재미파파단상표면조항Rs전특성적표준측량방안:IEC/TC90.차방안채용개질간해진기법측량표면조항적원리,사용람보석개질간화초도막조성적해진기법측량초도막적Rs.본문분석료각개측량량대표준측량방안적측량정도,분석료재12GHz미파빈솔하,계통적각개실제부건적가공오차.인위빈보곡선적측량오차,즉배경오차대최종측량결과Rs적영향시주요적.
