压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2007年
3期
302-304
,共3页
王海宁%崔大付%耿照新%陈兴
王海寧%崔大付%耿照新%陳興
왕해저%최대부%경조신%진흥
微泵%压电双晶片%聚二甲基硅氧烷(PDMS)
微泵%壓電雙晶片%聚二甲基硅氧烷(PDMS)
미빙%압전쌍정편%취이갑기규양완(PDMS)
介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵.该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用双面湿法腐蚀形成被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件.对压电双晶片的理论变形量和压电微泵的泵腔变化量、泵腔压缩比进行了理论分析,并对其输出流量进行了测试.在100 V、20 Hz的方波驱动下,该压电微泵的最大输出流量为317 μL/min.结果显示该压电微泵的制作工艺简单,具有良好的流体驱动性能.
介紹瞭一種基于MEMS技術的壓電微泵.該微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作為泵膜,利用雙麵濕法腐蝕形成被動閥,併利用壓電雙晶片作為驅動部件.對壓電雙晶片的理論變形量和壓電微泵的泵腔變化量、泵腔壓縮比進行瞭理論分析,併對其輸齣流量進行瞭測試.在100 V、20 Hz的方波驅動下,該壓電微泵的最大輸齣流量為317 μL/min.結果顯示該壓電微泵的製作工藝簡單,具有良好的流體驅動性能.
개소료일충기우MEMS기술적압전미빙.해미빙이용취이갑기규양완(PDMS)작위빙막,이용쌍면습법부식형성피동벌,병이용압전쌍정편작위구동부건.대압전쌍정편적이론변형량화압전미빙적빙강변화량、빙강압축비진행료이론분석,병대기수출류량진행료측시.재100 V、20 Hz적방파구동하,해압전미빙적최대수출류량위317 μL/min.결과현시해압전미빙적제작공예간단,구유량호적류체구동성능.
