传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2007年
6期
1203-1206
,共4页
岳钊%牛文成%谢林宏%权伍明%罗翀
嶽釗%牛文成%謝林宏%權伍明%囉翀
악쇠%우문성%사림굉%권오명%라충
溶解二氧化碳传感器%Pt-NiO混合敏感膜%MISFET结构
溶解二氧化碳傳感器%Pt-NiO混閤敏感膜%MISFET結構
용해이양화탄전감기%Pt-NiO혼합민감막%MISFET결구
应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓度变化的响应曲线.实验结果表明,室温下基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜对溶解二氧化碳有很好的敏感性.
應用碳糊成膜方法,設計一種基于MISFET結構Pt-NiO混閤敏感膜的新型溶解二氧化碳傳感器.文中對器件進行瞭測量,給齣瞭不同工作點下器件輸齣電壓變化量△Vrs隨著溶解二氧化碳濃度變化的響應麯線.實驗結果錶明,室溫下基于MISFET結構的Pt-NiO混閤敏感膜對溶解二氧化碳有很好的敏感性.
응용탄호성막방법,설계일충기우MISFET결구Pt-NiO혼합민감막적신형용해이양화탄전감기.문중대기건진행료측량,급출료불동공작점하기건수출전압변화량△Vrs수착용해이양화탄농도변화적향응곡선.실험결과표명,실온하기우MISFET결구적Pt-NiO혼합민감막대용해이양화탄유흔호적민감성.
