功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
6期
889-890,894
,共3页
王玉新%冯克成%张先徽%王兴权%赵永年
王玉新%馮剋成%張先徽%王興權%趙永年
왕옥신%풍극성%장선휘%왕흥권%조영년
射频磁控溅射%硼碳氮薄膜%红外吸收光谱
射頻磁控濺射%硼碳氮薄膜%紅外吸收光譜
사빈자공천사%붕탄담박막%홍외흡수광보
采用射频磁控溅射技术,用六角氮化硼和石墨为溅射靶,以氩气(Ar)和氮气(N2)为工作气体,在Si (100)衬底上制备出硼碳氮薄膜.通过X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)等分析手段对样品结构、组分进行了分析.结果表明,样品的组成原子之间实现了原子级化合,且薄膜为乱层石墨结构.样品中B、C、N的原子比近似为1:1:1.
採用射頻磁控濺射技術,用六角氮化硼和石墨為濺射靶,以氬氣(Ar)和氮氣(N2)為工作氣體,在Si (100)襯底上製備齣硼碳氮薄膜.通過X射線衍射(XRD)、傅裏葉紅外吸收光譜(FTIR)和X射線光電子能譜(XPS)等分析手段對樣品結構、組分進行瞭分析.結果錶明,樣品的組成原子之間實現瞭原子級化閤,且薄膜為亂層石墨結構.樣品中B、C、N的原子比近似為1:1:1.
채용사빈자공천사기술,용륙각담화붕화석묵위천사파,이아기(Ar)화담기(N2)위공작기체,재Si (100)츤저상제비출붕탄담박막.통과X사선연사(XRD)、부리협홍외흡수광보(FTIR)화X사선광전자능보(XPS)등분석수단대양품결구、조분진행료분석.결과표명,양품적조성원자지간실현료원자급화합,차박막위란층석묵결구.양품중B、C、N적원자비근사위1:1:1.
