工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2011年
1期
16-19
,共4页
陈扬辉%张晶晶%周颐辛%李戈扬
陳颺輝%張晶晶%週頤辛%李戈颺
진양휘%장정정%주이신%리과양
碳化锆薄膜%磁控溅射%微结构%力学性能
碳化鋯薄膜%磁控濺射%微結構%力學性能
탄화고박막%자공천사%미결구%역학성능
采用碳化锆靶通过磁控溅射方法制备一系列碳化锆薄膜,采用XRD、SEM、AFM和微力学探针研究溅射气压和基于温度对碳化锆薄膜的微结构和力学性能的影响.结果表明:低溅射气压下,薄膜呈现结品良好的柱状品结构,其硬度和弹性模量分别为30.1GPa、256GPa.溅射气压提高到2.0Pa以上后,薄膜的柱状晶结构受到破坏,品粒减小,致密性降低,晶界强度亦降低,导致其硬度和弹性模量显著降低.基片温度提高到200℃以上后,薄膜呈现强烈的(111)择优取向,其硬度和弹性模量有所提高并保持稳定.
採用碳化鋯靶通過磁控濺射方法製備一繫列碳化鋯薄膜,採用XRD、SEM、AFM和微力學探針研究濺射氣壓和基于溫度對碳化鋯薄膜的微結構和力學性能的影響.結果錶明:低濺射氣壓下,薄膜呈現結品良好的柱狀品結構,其硬度和彈性模量分彆為30.1GPa、256GPa.濺射氣壓提高到2.0Pa以上後,薄膜的柱狀晶結構受到破壞,品粒減小,緻密性降低,晶界彊度亦降低,導緻其硬度和彈性模量顯著降低.基片溫度提高到200℃以上後,薄膜呈現彊烈的(111)擇優取嚮,其硬度和彈性模量有所提高併保持穩定.
채용탄화고파통과자공천사방법제비일계렬탄화고박막,채용XRD、SEM、AFM화미역학탐침연구천사기압화기우온도대탄화고박막적미결구화역학성능적영향.결과표명:저천사기압하,박막정현결품량호적주상품결구,기경도화탄성모량분별위30.1GPa、256GPa.천사기압제고도2.0Pa이상후,박막적주상정결구수도파배,품립감소,치밀성강저,정계강도역강저,도치기경도화탄성모량현저강저.기편온도제고도200℃이상후,박막정현강렬적(111)택우취향,기경도화탄성모량유소제고병보지은정.
