传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
2期
41-43,46
,共4页
自动对焦%三角法%通光率%光学检测
自動對焦%三角法%通光率%光學檢測
자동대초%삼각법%통광솔%광학검측
为提高光学自动检测设备中自动对焦的准确性、快速性和稳定性,提出一种新型的高精度快速自动对焦技术方案.该系统利用光学三角法测距原理将汇聚到工作台上的激光光斑成像在CCD上,再利用光斑灰阶的变化实现精密对焦.实验结果表明:显微镜重复对焦精度可以达到0.1 μm,对焦时间小于200 ms,满足工业光学检测系统中实际应用的需要.
為提高光學自動檢測設備中自動對焦的準確性、快速性和穩定性,提齣一種新型的高精度快速自動對焦技術方案.該繫統利用光學三角法測距原理將彙聚到工作檯上的激光光斑成像在CCD上,再利用光斑灰階的變化實現精密對焦.實驗結果錶明:顯微鏡重複對焦精度可以達到0.1 μm,對焦時間小于200 ms,滿足工業光學檢測繫統中實際應用的需要.
위제고광학자동검측설비중자동대초적준학성、쾌속성화은정성,제출일충신형적고정도쾌속자동대초기술방안.해계통이용광학삼각법측거원리장회취도공작태상적격광광반성상재CCD상,재이용광반회계적변화실현정밀대초.실험결과표명:현미경중복대초정도가이체도0.1 μm,대초시간소우200 ms,만족공업광학검측계통중실제응용적수요.
