光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2011年
4期
1138-1141
,共4页
刘震%李旭%马月英%陈波%曹健林
劉震%李旭%馬月英%陳波%曹健林
류진%리욱%마월영%진파%조건림
极紫外%多层膜反射镜%磁控溅射%X射线衍射仪%反射率计
極紫外%多層膜反射鏡%磁控濺射%X射線衍射儀%反射率計
겁자외%다층막반사경%자공천사%X사선연사의%반사솔계
为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要,设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜.依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择新的材料Ti与Si组成材料对.设计优化材料多层膜的周期厚度(d),材料比例(Γ),周期数(N),计算出Ti/Si反射率曲线.通过实验优化各种镀膜工艺参数,制备出了23.4 nm的Ti/Si多层膜反射镜.利用X射线衍射仪和软X射线反射率计对Ti/Si多层膜结构和反射率进行枪测,测量结果为Ti/Si多层膜反射镜中心波长λ0=23.2nm,正入射峰值反射率为R=25.8%.将Ti/Si多层膜反射镜与软X射线波段常用的Mo/Si多层膜反射镜相比,在23.4 nm处,Ti/Si多层膜反射镜的反射率提高10%,而带宽减小1.8 nm,光学性能显著提高.
為瞭滿足類氖-鍺X射線激光研究的需要,設計製備瞭23.4 nm軟X射線多層膜反射鏡.依據多層膜選材原則併攷慮材料的物理化學特性選擇新的材料Ti與Si組成材料對.設計優化材料多層膜的週期厚度(d),材料比例(Γ),週期數(N),計算齣Ti/Si反射率麯線.通過實驗優化各種鍍膜工藝參數,製備齣瞭23.4 nm的Ti/Si多層膜反射鏡.利用X射線衍射儀和軟X射線反射率計對Ti/Si多層膜結構和反射率進行鎗測,測量結果為Ti/Si多層膜反射鏡中心波長λ0=23.2nm,正入射峰值反射率為R=25.8%.將Ti/Si多層膜反射鏡與軟X射線波段常用的Mo/Si多層膜反射鏡相比,在23.4 nm處,Ti/Si多層膜反射鏡的反射率提高10%,而帶寬減小1.8 nm,光學性能顯著提高.
위료만족류내-타X사선격광연구적수요,설계제비료23.4 nm연X사선다층막반사경.의거다층막선재원칙병고필재료적물이화학특성선택신적재료Ti여Si조성재료대.설계우화재료다층막적주기후도(d),재료비례(Γ),주기수(N),계산출Ti/Si반사솔곡선.통과실험우화각충도막공예삼수,제비출료23.4 nm적Ti/Si다층막반사경.이용X사선연사의화연X사선반사솔계대Ti/Si다층막결구화반사솔진행창측,측량결과위Ti/Si다층막반사경중심파장λ0=23.2nm,정입사봉치반사솔위R=25.8%.장Ti/Si다층막반사경여연X사선파단상용적Mo/Si다층막반사경상비,재23.4 nm처,Ti/Si다층막반사경적반사솔제고10%,이대관감소1.8 nm,광학성능현저제고.
