应用激光
應用激光
응용격광
APPLIED LASER
2005年
1期
45-48
,共4页
李佳%陈良格%林华水%周勇亮%胡维玲%田昭武
李佳%陳良格%林華水%週勇亮%鬍維玲%田昭武
리가%진량격%림화수%주용량%호유령%전소무
CO2激光%微阵列点样芯片%PMMA
CO2激光%微陣列點樣芯片%PMMA
CO2격광%미진렬점양심편%PMMA
提出利用CO2激光器快速制作微阵列点样芯片.通过测量激光在不同功率下加工小孔或是对同一小孔加工不同次数时所得小孔孔径和深度,以此来确定激光器的各项性能参数.并且测得不同功率的激光穿透小孔以及穿透次数不同所得小孔孔径.最后利用直径约为79μm的10×10阵列式孔道制作微阵列点样芯片,于尼龙膜上点样,所得样点平均直径为200μm,并测得小孔孔径与样点两者相对标准偏差分别为4.3%和7.4%.
提齣利用CO2激光器快速製作微陣列點樣芯片.通過測量激光在不同功率下加工小孔或是對同一小孔加工不同次數時所得小孔孔徑和深度,以此來確定激光器的各項性能參數.併且測得不同功率的激光穿透小孔以及穿透次數不同所得小孔孔徑.最後利用直徑約為79μm的10×10陣列式孔道製作微陣列點樣芯片,于尼龍膜上點樣,所得樣點平均直徑為200μm,併測得小孔孔徑與樣點兩者相對標準偏差分彆為4.3%和7.4%.
제출이용CO2격광기쾌속제작미진렬점양심편.통과측량격광재불동공솔하가공소공혹시대동일소공가공불동차수시소득소공공경화심도,이차래학정격광기적각항성능삼수.병차측득불동공솔적격광천투소공이급천투차수불동소득소공공경.최후이용직경약위79μm적10×10진렬식공도제작미진렬점양심편,우니룡막상점양,소득양점평균직경위200μm,병측득소공공경여양점량자상대표준편차분별위4.3%화7.4%.
