电源技术
電源技術
전원기술
CHINESE JOURNAL OF POWER SOURCES
2006年
11期
921-924
,共4页
姜维%周之斌%崔容强%罗培青%刘志刚%窦晓鸣
薑維%週之斌%崔容彊%囉培青%劉誌剛%竇曉鳴
강유%주지빈%최용강%라배청%류지강%두효명
氮化碳%离子束溅射%拉曼%TEM%EDS%开路电压
氮化碳%離子束濺射%拉曼%TEM%EDS%開路電壓
담화탄%리자속천사%랍만%TEM%EDS%개로전압
将碳基材料应用于太阳电池半导体器件的研究已经在国内外得到重视和开展.采用离子束溅射反应沉积技术,在p型绒面硅和p型硅基片上沉积出用于制备太阳电池的氮化碳薄膜(a-C:N).ID/IG比率,IS/IG比率是研究氮化碳薄膜微结构的重要拉曼参数,对这些参数随氮离子束能量的变化进行了研究.能量散射光谱(EDS)和透射电子显微镜(TEM)测试显示随氮离子束能量增大,薄膜中氮原子含量下降,团簇尺寸大幅下降,非晶网络中团簇分布也趋于均匀.用真空热蒸镀工艺在氮化碳/硅异质结的氮化碳薄膜表面镀上一层半透明的铝薄膜,测得AM 1.5标准光照下的开路电压随氮离子束能量的增加而增大.
將碳基材料應用于太暘電池半導體器件的研究已經在國內外得到重視和開展.採用離子束濺射反應沉積技術,在p型絨麵硅和p型硅基片上沉積齣用于製備太暘電池的氮化碳薄膜(a-C:N).ID/IG比率,IS/IG比率是研究氮化碳薄膜微結構的重要拉曼參數,對這些參數隨氮離子束能量的變化進行瞭研究.能量散射光譜(EDS)和透射電子顯微鏡(TEM)測試顯示隨氮離子束能量增大,薄膜中氮原子含量下降,糰簇呎吋大幅下降,非晶網絡中糰簇分佈也趨于均勻.用真空熱蒸鍍工藝在氮化碳/硅異質結的氮化碳薄膜錶麵鍍上一層半透明的鋁薄膜,測得AM 1.5標準光照下的開路電壓隨氮離子束能量的增加而增大.
장탄기재료응용우태양전지반도체기건적연구이경재국내외득도중시화개전.채용리자속천사반응침적기술,재p형융면규화p형규기편상침적출용우제비태양전지적담화탄박막(a-C:N).ID/IG비솔,IS/IG비솔시연구담화탄박막미결구적중요랍만삼수,대저사삼수수담리자속능량적변화진행료연구.능량산사광보(EDS)화투사전자현미경(TEM)측시현시수담리자속능량증대,박막중담원자함량하강,단족척촌대폭하강,비정망락중단족분포야추우균균.용진공열증도공예재담화탄/규이질결적담화탄박막표면도상일층반투명적려박막,측득AM 1.5표준광조하적개로전압수담리자속능량적증가이증대.
