电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2007年
2期
46-48,51
,共4页
杨勇%柏自奎%张顺平%蔡水洲%曾大文%谢长生
楊勇%柏自奎%張順平%蔡水洲%曾大文%謝長生
양용%백자규%장순평%채수주%증대문%사장생
电子技术%气敏元件阵列%纳米ZnO%丝网印刷%电导
電子技術%氣敏元件陣列%納米ZnO%絲網印刷%電導
전자기술%기민원건진렬%납미ZnO%사망인쇄%전도
以金属蒸气氧化法制备的纯纳米ZnO为气敏原料,通过丝网印刷技术在Al2O3基片上制得纯ZnO和掺杂ZnO的气敏元件阵列.结果表明,元件阵列具有低的功耗,纯ZnO气敏元件阵列在350～400 ℃对橙汁、可乐、酒精和汽油有较高的敏感性,灵敏度分别为2.9,2.9,53.5和43.4.通过Bi2O3+Cu2O的掺杂,可以降低纯ZnO的电导,并进一步提高气敏元件在250～350 ℃温度区间对汽油的敏感性.并对其气敏机理进行了探讨.
以金屬蒸氣氧化法製備的純納米ZnO為氣敏原料,通過絲網印刷技術在Al2O3基片上製得純ZnO和摻雜ZnO的氣敏元件陣列.結果錶明,元件陣列具有低的功耗,純ZnO氣敏元件陣列在350～400 ℃對橙汁、可樂、酒精和汽油有較高的敏感性,靈敏度分彆為2.9,2.9,53.5和43.4.通過Bi2O3+Cu2O的摻雜,可以降低純ZnO的電導,併進一步提高氣敏元件在250～350 ℃溫度區間對汽油的敏感性.併對其氣敏機理進行瞭探討.
이금속증기양화법제비적순납미ZnO위기민원료,통과사망인쇄기술재Al2O3기편상제득순ZnO화참잡ZnO적기민원건진렬.결과표명,원건진렬구유저적공모,순ZnO기민원건진렬재350～400 ℃대등즙、가악、주정화기유유교고적민감성,령민도분별위2.9,2.9,53.5화43.4.통과Bi2O3+Cu2O적참잡,가이강저순ZnO적전도,병진일보제고기민원건재250～350 ℃온도구간대기유적민감성.병대기기민궤리진행료탐토.
