青岛科技大学学报（自然科学版）
青島科技大學學報（自然科學版）
청도과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
5期
428-430,438
,共4页
等离子体%热丝化学气相沉积%碳源%金刚石薄膜
等離子體%熱絲化學氣相沉積%碳源%金剛石薄膜
등리자체%열사화학기상침적%탄원%금강석박막
采用等离子辅助热丝化学气相沉积(PAHFCVD)装置,分别用甲烷和乙醇为碳源进行了金刚石薄膜的制备.并运用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)测试手段对沉积的金刚石薄膜进行了观察分析.结果表明,用乙醇制备的金刚石薄膜比甲烷制得的金刚石薄膜的生长率要高,膜的缺陷少、颗粒均匀.
採用等離子輔助熱絲化學氣相沉積(PAHFCVD)裝置,分彆用甲烷和乙醇為碳源進行瞭金剛石薄膜的製備.併運用X射線衍射儀(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)測試手段對沉積的金剛石薄膜進行瞭觀察分析.結果錶明,用乙醇製備的金剛石薄膜比甲烷製得的金剛石薄膜的生長率要高,膜的缺陷少、顆粒均勻.
채용등리자보조열사화학기상침적(PAHFCVD)장치,분별용갑완화을순위탄원진행료금강석박막적제비.병운용X사선연사의(XRD)화소묘전자현미경(SEM)측시수단대침적적금강석박막진행료관찰분석.결과표명,용을순제비적금강석박막비갑완제득적금강석박막적생장솔요고,막적결함소、과립균균.
